research）公司、荷兰asm国际公司。

    国内：北京仪器厂、中国电子科技集团第四十五所、上海机械厂。

    13、磁控溅射台

    芯片生产设备功能：通过二极溅射中一个平行于靶表面的封闭磁场，和靶表面上形成的正交电磁场，把二次电子束缚在靶表面特定区域，实现高离子密度和高能量的电离，把靶原子或分子高速率溅射沉积在基片上形成薄膜。

    主要企业（品牌）：

    国际：美国vaportech公司、美国amat公司、美国pvd公司、荷兰hauzer公司、英国teer公司、瑞士ptit公司、瑞士balzers公司、德国ceme公司。

    国内：中国电子科技集团第四十八所、北京仪器厂、沈阳中科仪器、成都南光实业股份有限公司、科睿设备有限公司、上海机械厂。

    14、化学机械抛光机

    设备功能：通过机械研磨和化学液体溶解“腐蚀”的综合作用，对被研磨体（半导体）进行研磨抛光。

    主要企业（品牌）：

    国际：美国applied materials公司、美国诺发系统公司、美国rtec公司。

    国内：兰州兰新高科技产业股份有限公司、爱立特微电子。

    15、引线键合机

    设备功能：把半导体芯片上的pad与管脚上的pad，用导电金属线（金丝）链接起来。

  

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