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第41章 芯片设备(7/7)
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将欲使用的金属材料均匀洒在晶圆片上,形成一薄膜。

    第二步,涂布光阻:先将光阻材料放在晶圆片上,透过光罩,将光束打在不要的部分上,破坏光阻材料结构。接着,再以化学药剂将被破坏的材料洗去。

    第三步,蚀刻技术:将没有受光阻保护的硅晶圆,以离子束蚀刻。

    第四步,光阻去除:使用去光阻液皆剩下的光阻溶解掉,如此便完成一次流程。

    最后便会在一整片晶圆上完成很多芯片,接下来只要将完成的方形芯片剪下,便可送到封装厂做封装。
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