收集和转化率这一单元里，能够被如何利用到极致。”
    “数据、模型，不管失败成功，统统记录下来。”
    盛明安语速打机关-枪似的，斩钉截铁、不容置喙，仿佛难度高到爆表的光源系统在他眼里层次分明、井然有序，所有的技术难点都可以被轻松解决。
    他胸有成竹，心有沟壑。
    他不必开口安慰，只要用平淡轻松的口气下达每一道指令就能安定实验室每个人退怯、不自信的心。
    “杜颂，打开你的Modelica先进行初步的超精密激光器建模仿真。”
    Modelica是一款可实现复杂的物理系统仿真建模的计算机语言软件，可用于光刻机某些超精密部件的仿真建模。
    杜颂：“已在创建。”
    他领着自己小组成员低头忙碌。
    “雷客，你调整一下光路结构。”
    “好。”雷客示意助手打开OPC（光学邻近矫正）软件，通过模型动态仿真结果计算查找表修正光与图案。
    盛明安匍匐在桌案，设计市场需求的激光光源，就目前的技术发展而言，光刻机激光光源仍以激光等离子体为主。
    驱动光源产生的碎屑数量，光谱纯度，每提高一个技术节点消耗的功率和产能……其实日前最先进的EUV，其功率消耗大、产能低，再过五六年也未能完美解决这两个问题。
    可盛明安不清楚。
    他虽不愿用前世记忆盗窃他人成果提前制造出国产光刻机，

本章还未完，请点击下一页继续阅读>>>