法而忽略了脚下不牢靠的基石，太蠢了。
    郑河如是冷漠傲慢的想着，打发走计海，将消息简单汇报给陈天鹤。
    陈天鹤正从私人专机上下来，落到美国的土地上。
    “陈惊G的事以后不用跟我说。”陈天鹤冷漠的说。
    他抬头观看这座灯火通明的城市――
    加利福尼亚州圣迭戈市，高通总部。
    陈天鹤此行的目的。
    ***
    光源系统是光刻机制造的核心，是晶圆光刻工程的起始步，与光刻工程后续每一步息息相关。
    光源系统主要三大单元是光的产生、收集和均一化，初代光刻机的光源系统还包括光的纯化，但第四代、第五代的激光器产生的光源已经达到要求，只需要让光均匀化就行。
    光是雕刻的工具，由激光器产生，涉及三项技术指标即光刻分辨率、套刻精度和产能。
    光刻分辨率有一道计算公式，照公式调整影响因数从而提高光刻分辨率，这方而难度不大，但是受掩膜设计、抗蚀剂工艺等牵制，必须同时达到最佳化才能实现理想的光刻分辨率。
    套刻精度与光刻分辨率相关，直接受其影响。
    至于产能，则与光源系统的稳定相关。
    以上是对激光器的要求，相对整个光源系统的技术要求不算高，系统工程程序中最难的步骤是光的收集。
    收集难度大，转化效率也低。
    雷客坐在电脑前，操纵鼠标在软件里做精密的计

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