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第8节 芯片准备(5/5)
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0分钟,该二氧化硅层作为光刻n型区的掩蔽层。
    如光刻出n型掺杂区,然后进行磷掺杂扩散,形成nos晶体管的源、漏区;
    在磷扩散以后,进行湿氧化预定时间如20分钟,该二氧化硅层用以制造nos和os栅氧化区的的掩蔽层;
    光刻出nos和os晶体管的栅区,然后使用干氧化方法,生成设定厚度的栅二氧化硅层如500纳米制程,”
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