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科技之全球垄断第596章 【紫星光刻,准备曝光它吧】(1/8)
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    极紫外光刻技术的另一大瓶颈无疑就是光刻胶了。
    目前的行业现状是,半导体材料的供应都是十分集中的,而光刻胶技术算是全球集中度最高,并且壁垒也是最高的材料,被日本和北美合计占领了95%的市场份额。
    三星电子半导体固然牛气哄哄,也却是很有实力,但实际上得看日本人的脸色,如果日本的半导体材料商在材料这块卡一下,三星半导体就要趴窝。
    休息室里正在进行临时的技术交流探讨,一位负责光刻胶技术的工程师有条不紊的说道:“在248纳米和193纳米的光刻中,主流有超过二十年之久都是使用有机化学放大光刻胶CAR,这是一种用来制作图案成型的光敏聚合物。”
    在极紫外光刻机下,光子专机CAR光刻胶并产生光酸,之后CAR光刻胶在曝光后的过程中进行光酸催化反应,进而产生光刻图案。
    原理就是这么个原理。
    那名工程师继续道:“把CAR光刻胶用于极紫外光刻技术上,但因为光源能量大幅度增加了,之前的实操结果显示会出现不同且复杂的结果,进而影响芯片的良品率。”
    罗晟点点头,说道:“到了EUV技术节点,这个不单单是我们的问题,竞争者也一样会遇到类似问题,还是得开拓新思路,想来当前业界其它的半导体设备、材料商都会想尽各种方式,或者提出新的光刻胶技术解决方案,让极紫外光刻技术可以持续使用,从而延续摩尔定律的寿命。”
    刚刚那名工程

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