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第580章 【“紫星”极紫外光刻机】(3/5)
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有人被判了刑。
    这样的风险在罗晟的可接受范围内,他也不会真的指望队伍里就一个坏人都没有,有坏人不怕,怕是有坏人没有找出来,不过现在的队伍是干净的了。
    他们也许都有自己的小九九,罗晟不指望他们有为事业无私献身的崇高理想,这也是不现实的乌托邦想法。
    但没关系,拿市场以及共同的利益维系着就行了,拿到了既得利益就会为这份利益尽心尽力。
    在场的一位来自友商的技术负责人走到罗晟旁边,“罗先生,光刻机的主要性能指标,支持基片的尺寸范围、分辨率、对准精度、曝光方式、光源波长、光强均匀性、生产效率等技术痛点目前都已经解决了。”
    罗晟点点头,问道:“光源系统方面的技术问题呢?”
    对方立即回道:“也基本解决了。”
    罗晟:“基本?那就是还没完全解决了,尽快解决。”
    值得一提的是,EUV光源系统的组成,光源由光的产生、光的收集、光谱的纯化与均匀化三大单元组成,相关的工作元器件主要包括大功率CO2、激光器、多层涂层镜、负载、光收集器、掩膜版、投影光学系形成等离子体,等离子利用多层膜反射镜多次反射净化能谱,从而获得13.5纳米的EUV光。
    仅仅是这么一个光源的问题就要牵涉到了十多家厂商来研发配套,足见这玩意制造难度之高了,仅仅是砸足够的钱还是次要的,技术更是重要,国内相关的厂商实际上又没有核心科技。


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