第418章 【向高通学习,躺着赚专利费】(2/5)
原来的位置精准的印刷出下一层图像,EUV是较为不同的一个。”
“我坚信这个技术可以实现,是未来的趋势,并且该技术会成为芯片制造商们最划算的选择。所以我的想法是接下来不惜成本合力做出一个EUV光刻机样机,争取在2015年左右实现这个目标,使其他研究者们可以测试这种方法。”
不一会儿,胜利精密的掌门人高总提出了不同的看法,他说道:“但是罗总,据我所知EUV技术是非常困难的。在使用波长近乎为X光的射线去蚀刻的时候,物理学知识并不能为工程师们帮上多少忙。”
与会的其它人也不由得点点头,极紫外光刻技术在上个世纪90年代后期就已经被提出来了,如今过去了十多年,行业大拿ASML公司也毫无进展,其难度可想而知。
末了,众人不由得看向了罗晟,诧异的发现善于创造奇迹的年轻世界首富却是一脸轻松,这不禁让大家好奇了。
罗晟调出了一组数学模型,不用他示意众人已经纷纷看向了大屏幕,而罗晟有条不紊的说道:
“高总说的不无道理,所以我最终选择了13.5纳米波长射线,这种光可以轻易地被很多材料吸收,即使我们呼吸的空气也是完全的黑色,因为它也吸收了最后一点射线,我很早就意识到了EUV光刻机只能在真空下运行,晶圆则通过一个气闸进出光刻机。”
罗晟补充道:“之后接踵而来的就是让射线弯曲的问题了,EUV也能被玻璃吸收,所以在设备中改变其走向
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