第417章 【光刻设备产业技术创新战略联盟专家协会】(3/5)
,据说是国家在幕后积极推动的结果,不只是我们,还有微电子、国望光学科技、胜利精密等数十家相关企业都已经收到消息了。”
朱昱一听不由得微愣,旋即陷入了沉思,他是华卓精科的实际控制人和首席科学家,工学博士,这个行业的一大领军级人才。
华卓精创是目前国内唯一的光刻机工件台供应商,光刻机主要是由曝光光学系统和超精密工作台构成,其中超精密工作台是光刻机产品平台的核心子系统,承载着晶圆在光刻过程中实现高速超精密的步进扫描运动,成本占到了光刻机的10~20%左右。
光刻机精密工件台技术在超精密机械制造与控制领域处于最尖端地位,被称为超精密技术皇冠上的明珠。
而华卓精创是世界上第二家掌握双工件台核心技术的公司,成功推出了第一台满足65纳米光刻需求的双工件台样机,打破了ASML公司在该领域的技术垄断。
朱昱不但是华卓精创的实际控制人,也是青华大学机械电子工程研究所所长,也担任国家“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”科技重大专项实施方案编制专家组合总体专家组副组长、技术副总师,装备组、光刻机组组长。出版学术专著有2部,发表论文达170余篇,申请国家发明专利160余项、授权90余项,其中美国专利9项。
是一个业界难得的大佬级人物。
“嗯,知道了,其它工作安排暂时延后,去苏城赴约吧。”朱昱结束了思考立刻有了决断,他已经意
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