与之相对应的,就是光源系统、光学曝光系统以及对准系统等。
所以说,光刻机的三大核心技术:高精度镜头、高纯度激光(光源)、精密仪器,汇嘉系已经掌握的七七八八了。
比如,博隆光学在几大光机所和杜登团队的支持下,通过不懈的努力,终于攻克了高精度镜头的技术难关。有了高精度镜头,物镜自然也就不是问题。
而高纯度激光的技术,国内几大光机所同样掌握着核心技术。虽然在产业化方面还有待提高,但已经完全可以做到进口替代。
精密仪器就不必多说了,胡杨费那么大力气收购图威精密机械,不就是为了这一块吗?
最后再加上微电子设备的整机集成技术,光刻机这支拦路虎,可以说已经被汇嘉系踩到了脚下。
光刻机的技术难不难?
的确是很难,但也没有很多人想象的那么难。
就拿光刻机巨头阿斯麦来说,它的高精度镜头、高纯度激光和精密仪器,分别来自德国蔡司,美国cymer及一系列德国精密机械企业。他自己拥有的核心技术只有10%不到。
如果没有攒机市场,阿斯麦是造不出高端光刻机的。
但现在,汇嘉系已经在光刻机的几大核心技术领域,都实现了国产技术替代方案。
这才是最令人欢心鼓舞的一件事。
“许总,你们辛苦了!从此以后,咱们再也不怕别人在光刻设备上卡脖子喽。回头我会
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