观众躁动一片,齐齐惊呼出声,甚至起身站立。
当然口说无凭,接下来的一个小时,蒲伟才开始讲述国产暴龙euv的种种技术特点。
132纳米激发光源,激发效率是193纳米光源的两倍多。
金属液锡的击打频率,从最开始的50次,500次,5000次,逐渐达到可以使用的2万次,最终追平国外的每秒5万次!
国产锅盖镜片,反射率为82(国外为70),经过20次反射后,最终能量利用率达189,艾思迈euv只有008。
综合曝光功率,超过了625uv的25倍。
至此。
国产euv按理说已经具有了足够的领先优势,完全可以宣布成功,并且将产品投放市场。
“不够,领先这点程度还不够!”
台上的蒲伟才摇着头道:“因为光源系统极高的工作稳定性,索性,我们砍掉了复杂程度极高的‘纠偏系统’,再加入一台‘光源系统’,用两台超稳定的光源系统,交替工作,彻底代替纠偏系统,如同按上了两颗强有力的心脏,其可靠性不会比一颗心脏+纠偏系统差多少,并让整个系统大为简化,降低了生产成本。”
“除此之外!”
“两颗心脏如果同时开展工作,同时产生euv光源,那么这台暴龙euv,将进入‘狂暴状态’!”
“狂暴状态下,光刻功率翻倍,加工晶圆的能力翻倍,生产效率陡然翻倍。”
“该状态下,
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