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第95章 狂热(2/5)
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系统’算了,再往里面加入一组光源,构成‘双光源系统’,光刻机正常使用的情况下,只让一组光源进行工作,每次工作半个小时,另一组光源进入休息调整状态,半小时后接替工作,轮流换班,减少累积误差。”
    “此外这台机器还有一个‘狂暴模式’,那就是让两套光源系统,同时投入工作,每秒10万粒的锡滴,20万次的击打,产生超过1250瓦强度的极紫外光,这个光强是艾思迈光刻机250瓦的5倍之高,比普通duv光刻能量也强悍的多。”
    “狂暴模式下,这台光刻机每小时至少能处理600片以上的晶圆,艾思迈只能处理125片,我们的效率能高四五倍!”
    “而且能量越高,光刻出的清晰度、锐利度也越高,这能明显提高芯片的质量和良率,减少多重曝光的次数,更容易实现3纳米芯片的制造,帮助我们从开始的7纳米,越过中间的5纳米,快速过渡到最新的3纳米,实现跳跃式的发展!”
    蒲伟才的技术团队中,一位名叫罗聪的研究员,提出了一个叫“狂暴模式”的构想。
    他这个构想的天才之处,一方面彻底砍掉了“纠偏系统”这个大麻烦。
    另一个,“狂暴模式”的种种优势之处,又令人呼吸加重,眼里射出精光。
    当然,“狂暴模式”也有缺陷,那就是对散热系统提出了更高的要求,五倍的能量强度,意味着要散去五倍以上的热量。
    蒲伟才简单计算一番就得出结果:为防止系统过热,狂暴模式

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