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第94章 光刻机比想象的容易(2/6)
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用率达到了5?”卫明不解的道。
    “光源是解决了,是因为我用的击打光源,是用特殊晶体击发出的132纳米光,能量利用率肯定比193纳米光高的多,但是要想制造强度足够的135纳米波长的极紫外光,还是得通过击打锡滴的方式达到,这是唯一可行的路径。”
    “也就是说,你们只搞定了击打光源,然后就说搞定了光源……这两个不是一码事吧?”
    卫明眉头皱了起来。
    “卫总,我们不是搞虚假宣传,可是长期的科学研究,如果没有点成果的话,谁会关注我们,上面怎么给我们拨款?所以哪怕只是部分突破,也得重点宣传一番。”
    一旁的向广林解释说道。
    “其实我们正在攻克的最后一项难题,就是锡滴的击打频率问题。”
    蒲伟才也道:“我们已经解决了连续击打问题,但每秒最多重复5000次,不过我们的能量利用率更高,只要能做到每秒重复2万次,就能得到足够使用的光照强度了。”
    “所以我们的能量利用率不是没有意义,每秒2万次比每秒5万次,要明显容易实现多了。”
    “每秒2万次……”
    卫明沉吟了一下,道:“还缺什么条件,阻止你们达到这个频率?”
    “精度,控制系统的精度。”
    蒲伟才说道:“如同一个时钟,同时精确掌控2万滴锡滴的自由下落,以及4万次的击打,时间上,每秒内的误差,不得超过十亿分之一秒;距离上,每

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