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第42章 野望(2/5)
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    “X射线高敏胶?社长是想研发光刻胶吧!”马知力一听便知道黄明哲的打算。
    黄明哲点了点头:“没有错,就是X射线级别的光刻胶,我提几个要求,波长最好在3~8纳米之间;X射线敏感度要足够高,最好可以在几秒钟之内彻底溶解;另外对于X射线的能量级别,最好不需要高能级就可以实现快速光分解。”
    “社长,如果我们研发X射线光刻胶,这个可是没有客户的。”马知力提醒道。
    目前市面上的光刻机的光源,一般分为紫外光(UV)、深紫外光(DUV)、极紫外光(EUV),其中最先进的光刻机,就是尼德兰的阿斯麦公司生产的极紫外光(EUV),波长为13.4纳米。
    但是其实在上个世纪八十年代,光刻机行业之中,还有除了极紫外光(EUV)路线,还存在着另一个路线——X射线光刻机。
    为什么波长在10纳米以下的X射线光刻机,最后被极紫外光(EUV)淘汰?
    原因有两个,一是效率问题,X射线照射下光刻胶的光刻速度比较慢;二是精确度问题,为什么说波长10纳米以下的X射线,光刻精度差?因为掩模做不到10纳米以下。
    掩模就是电路图的母板,为什么极紫外光(EUV)的精度高,原因在于紫外光可以使用凸透镜缩小从掩模过来的光线,而所有人都知道X射线的穿透力非常强,凸透镜根本无法聚焦。
    所以X射线光刻机被淘汰了。
    市面上没有X射线

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