紫外激光光源,我们也有能力办到。”
“kbbf晶体?”苏远山笑着问了一句。
赵凯东微微一怔,有点惊讶地望着苏远山。
他没料到苏远山竟然对激光领域了解得这么深。
赵凯东沉默了几秒后,笑道:“是的。它虽然现在被运用在……强激光上面。但只要有需求,把它用在光刻机上面,也是有办法的。”
苏远山点了点头。他知道kbbf也就是氟代硼铍酸钾晶体,才合成出来两年,这玩意就是典型的运气搞出来的——掐了老美十五年的脖子。
由于它的出现,导致了国内激光武器大步向前,到后来意识到它是激光武器的关键节点后禁止出口。
赵凯东继续道:“但光刻机可不是靠一个光源就能带起来的,后续的镜头模组才是关键。而且光源上去了,所有部件的精密度也得跟着升级才行……设计难度也呈几何上升。”
苏远山笑道:“所以才暂时不考虑深紫外嘛,先走紫外i线,如果能完成05纳米制程,良率又能接受的话,那就完全可以投入到市场中去,还可以用很久。然后再跳过krf,直奔arf193线——这是不是就能追上了?最起码也不会像现在这样绝望。”
“至于设计难度,最迟年底,我们的机械cad就会上线,到时候设计方面就要容易一些了。”
听到苏远山说到机械cad,众人眼睛便是一亮:“能仿真吗?”
苏远山哭笑不得:“……几位叔,我们是电科
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