的话，“这些套话不要讲了。叶董这次来，是务实的，不要整些虚头巴脑的，你先说说现在的中海微电子制造光刻机有什么困难？你们多少时间能研制出来？”
    “诶，这困难可就多了……”
    明荣脸上僵住了，把刚才给吴勒恩说过的镜头加工难度说了一遍后，又苦笑道：“除此之外，光刻机还需要体积小、功率高、特稳定的光源，我们得从无到有研发一套统极复杂光学系。”
    “有了顶级的镜头和光源，没极致的机械精度，也是白搭。光刻机里有两个同步运动的工件台，一个载底片，一个载胶片。两者需始终同步，误差在纳米级。两个工作台由静到动，加速度跟导弹发射差不多。”
    “相当于两架大飞机从起飞到降落，始终齐头并进。一架飞机上伸出一把刀，在另一架飞机的米粒上刻字，不能刻坏了。”
    明荣又道：“而且，温湿度和空气压力变化会影响对焦。机器内部温度的变化要控制在千分之五度，得有合适的冷却方法，精准的测温传感器。”
    “我们设计的光刻机，包含13个分系统，3万个机械件，200多个传感器，每一个都要稳定。像欧洲冠军杯决赛，任何一个人发挥失常就要输球。”
    听到中海微电子的总经理明荣这么说，不提光刻机外行徐文扬，就连一知半解的吴勒恩也大吃一惊。
    “明总，原来还有这么多困难，我还以为只有你刚才说的镜头呢？这可怎么样？部里可是催了好多次，要在三年内出成果的。”

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